您的位置：網(wǎng)站首頁(yè) > 產(chǎn)品中心 > 新能源材料研發(fā) > 光焱量子效率測(cè)量系統(tǒng) > SG-O光炎量子效率分析儀光傳感器晶圓測(cè)試儀
product center
Related articles
簡(jiǎn)要描述：SG-O光炎量子效率分析儀光傳感器晶圓測(cè)試儀是一款CIS/ALS/Light-Sensor晶圓測(cè)試儀，它結(jié)合了高度均勻的光源和半自動(dòng)晶圓探測(cè)器。
產(chǎn)品型號(hào)： SG-O
所屬分類：光焱量子效率測(cè)量系統(tǒng)
更新時(shí)間：2024-10-10
廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
| 品牌 | 其他品牌 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,生物產(chǎn)業(yè),能源,電子 |
|---|
提供您在CIS/ALS/光傳感器晶圓級(jí)測(cè)試中所需的一切。
SG-O光炎量子效率分析儀光傳感器晶圓測(cè)試儀是一款CIS/ALS/Light-Sensor晶圓測(cè)試儀，它結(jié)合了高度均勻的光源和半自動(dòng)晶圓探測(cè)器。高度均勻光源可以提供從400nm到1700nm的連續(xù)白光光譜，以及在許多不同波長(zhǎng)下具有一定FWHM的單色光輸出。探測(cè)器可以處理大。200mm晶圓尺寸和尺寸大于1cmx1cm的單芯片。SG-O集成了超低噪音熱卡盤(pán)，可提供 -60°C至180°C的溫度范圍，具有快速的升溫速度和穩(wěn)定性。SG-O提供您在CIS/ALS/光傳感器設(shè)計(jì)驗(yàn)證或工藝良率檢查中所需的一切。
SG-O光炎量子效率分析儀光傳感器晶圓測(cè)試儀特點(diǎn)：
●高度均勻的光源
從 UV 到 SWIR 的寬光譜范圍
超過(guò)50mmx50mm區(qū)域的高度均勻性超過(guò)98%
超穩(wěn)定光強(qiáng)度，可維持不穩(wěn)定性<0.2%長(zhǎng)達(dá)10小時(shí)以上
高光強(qiáng)動(dòng)態(tài)范圍，高達(dá)140dB
●可編程自動(dòng)探測(cè)器
200mm~10mm晶圓或芯片處理能力
用于準(zhǔn)確可靠的DC / CV、RF測(cè)量
穩(wěn)定的功能顯微鏡系統(tǒng)
整合硬件控制面板
自動(dòng)晶圓裝載機(jī)
智能晶圓映射
●寬溫低噪音卡盤(pán)
模塊化卡盤(pán)
-80°C至180°C的寬溫度范圍
*CDA熱控制技術(shù)，高斜坡率和高T穩(wěn)定性
用于CIS/ALS/光傳感器晶圓測(cè)試的超低噪聲
應(yīng)用：
CIS/ALS/光傳感器晶圓測(cè)試
CIS/ALS/光傳感器晶圓映射和良率檢查
ToF傳感器測(cè)試
激光雷達(dá)傳感器測(cè)試
InGaAs PD測(cè)試
SPAD傳感器測(cè)試
光傳感器模擬參數(shù)測(cè)試：
量子效率
光譜響應(yīng)
系統(tǒng)增益
靈敏度
動(dòng)態(tài)范圍
暗電流/噪聲
信噪比
飽和容量
線性誤差（LE）
DCNU（暗電流非均勻性）
PRNU（光響應(yīng)非均勻性）
系統(tǒng)設(shè)計(jì)：
SG-O CIS / ALS / Light-Sensor測(cè)試儀（晶圓級(jí)）系統(tǒng)圖。高度均勻的光源由PC-1控制。光輸出由光纖引導(dǎo)到光學(xué)均化器以產(chǎn)生均勻的光束。顯微鏡和均質(zhì)器由PC-1的自動(dòng)平移臺(tái)控制，以切換位置和功能。Prober系統(tǒng)為MPI TS2000，由PC-2 控制?？ūP(pán)臺(tái)的位置也由PC-2控制。熱卡盤(pán)溫度可控制在-55℃至180℃，涵蓋了大部分 IC測(cè)試溫度范圍。光強(qiáng)度由一個(gè)Si 光電探測(cè)器和一個(gè)InGaAs光電探測(cè)器通過(guò)皮安電流表檢測(cè)和校準(zhǔn)。
規(guī)格：
高度均勻的光源
光譜范圍：400nm至1700nm
色溫：3000K至5200K
均勻照明面積：42mmx25mm，工作距離>200mm
照度均勻度：優(yōu)于98%
短期光不穩(wěn)定性：≤1%超過(guò)1小時(shí)
長(zhǎng)期光不穩(wěn)定性：≤1%超過(guò)10小時(shí)
DUT與后一個(gè)光學(xué)組件之間的工作距離：≥200mm工作距離
單色光生成：
10nm FWHM 中心波長(zhǎng)：420nm,450nm,490nm,510nm,550nm,570nm,620nm,670nm,680nm,710nm,780nm,870nm
25nm FWHM 中心波長(zhǎng)：1010nm,1250nm,1450nm
45±5nm FWHM 中心波長(zhǎng)：815nm
50nm FWHM 的中心波長(zhǎng)：1600nm
60±5nm FWHM 中心波長(zhǎng)：650nm
70±5nm FWHM 的中心波長(zhǎng)：485nm,555nm
100±5nm FWHM 的中心波長(zhǎng)：1600nm
帶外透光率≤0.01%
帶通區(qū)峰值傳輸≥80%
中心波長(zhǎng)容差：(a)≤±2nm；(b)~(g)≤±5nm
FWHM容差：(a)≤±2nm；(b)~(g)≤±5nm
可變衰減器：PC控制的3-decade分辨率，至少1000步
半自動(dòng)晶圓探針
晶圓尺寸能力：200mm、150mm、100mm晶圓和尺寸大于1cmx1cm的單芯片
晶圓處理：?jiǎn)尉A，手動(dòng)進(jìn)料型
半自動(dòng)化：一步手動(dòng)對(duì)準(zhǔn)教和自動(dòng)模步進(jìn)
XYZ 平臺(tái)
卡盤(pán) XY 載物臺(tái)行程：210mmx300mm
卡盤(pán) XY 平臺(tái)分辨率：優(yōu)于0.5um
夾頭 XY 平臺(tái)精度：優(yōu)于2.0um
卡盤(pán) XY 平臺(tái)速度：慢：10微米/秒，快：50毫米/秒
Chuck Z 載物臺(tái)行程：50mm
Chuck Z 平臺(tái)分辨率：0.2um
卡盤(pán) Z 平臺(tái)精度：±2.0um
Theta平臺(tái)
Theta載物臺(tái)行程：±5度運(yùn)動(dòng)范圍
Theta分辨率：優(yōu)于0.01度
Theta精度：0.1度
卡盤(pán)
卡盤(pán)平整度≤10um
卡盤(pán)熱操作：-60°C至200°C
25°C時(shí)的卡盤(pán)泄漏：25°C時(shí)在10V偏壓下每個(gè)電壓≤20fA
卡盤(pán)剩余電容≤95fF
探針卡
探針卡尺寸：4.5英寸至8英寸長(zhǎng)
探針卡座與壓板之間的間隙：≥7.5mm
微型腔室
EMI屏蔽：在 1kHz 至 1MHz 范圍內(nèi)≥30dB
系統(tǒng)交流噪聲：≤ 5mVp -p
微型定位器
顯微鏡
隔振臺(tái)
光譜輻照度計(jì)
光譜范圍：400nm至1600nm
波長(zhǎng)分辨率：400nm到1000nm 增加步長(zhǎng)<1nm；1000nm到1600nm 增加步長(zhǎng)<3.5nm
校準(zhǔn)：NIST可追溯校準(zhǔn)證書(shū)
主要表現(xiàn)
SG-O系統(tǒng)的操作軟件。對(duì)于高度均勻光源控制軟件，SG-O提供光源系統(tǒng)控制和光強(qiáng)測(cè)量。提供了各個(gè)光學(xué)組件的 Labview功能調(diào)色板、驅(qū)動(dòng)程序/DLL文件。該軟件控制所述平移臺(tái)以促進(jìn)照射大是在零件的設(shè)備。集成鏈接的整合包括發(fā)送/接收命令，例如芯片步進(jìn)、芯片對(duì)齊/探測(cè)等。
地址：北京市房山區(qū)長(zhǎng)陽(yáng)萬(wàn)興路86號(hào)-A529
郵箱：
傳真：010-59470086
咨詢電話